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德國(guó)巴魯夫BALLUFF電容傳感器應(yīng)用

更新時(shí)間:2022-06-08      點(diǎn)擊次數(shù):607

德國(guó)巴魯夫BALLUFF電容傳感器應(yīng)用:

電容傳感器可以直接測(cè)量的非電量為:直線位移、角位移及介質(zhì)的幾何尺寸(或稱物位),直線位移及角位移可以是靜態(tài)的,也可以是動(dòng)態(tài)的,例如是直線振動(dòng)及角振動(dòng)。用于上述三類非電參數(shù)變換測(cè)量的變換器一般說(shuō)來(lái)原理比較簡(jiǎn)單,無(wú)需再作任何預(yù)變換。
用來(lái)測(cè)量金屬表面狀況、距離尺寸、振幅等量的傳感器,往往采用單極式變間隙電容傳感器,使用時(shí)常將被測(cè)物作為傳感器的一個(gè)極板,而另一個(gè)電極板在傳感器內(nèi)。近年來(lái)已采用這種方法測(cè)量油膜等物質(zhì)的厚度。這類傳感器的動(dòng)態(tài)范圍均比較小,約為十分之幾毫米左右,而靈敏度則在很大程度上取決于選材、結(jié)構(gòu)的合理性及寄生參數(shù)影響的消除。精度達(dá)到0.1μm,分辨力為0.025μm??梢詫?shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量,它加給被測(cè)對(duì)象的力極小,可忽略不計(jì)。
測(cè)物位的傳感器多數(shù)是采用電容式傳感器作轉(zhuǎn)換元件。電容式傳感器還可用于測(cè)量原油中含水量、糧食中的含水量等。
當(dāng)電容傳感器用于測(cè)量其他物理量時(shí),必須進(jìn)行預(yù)變換,將被測(cè)參數(shù)轉(zhuǎn)換成d,S或ε的變化。例如在測(cè)量壓力時(shí),要用彈性元件先將壓力轉(zhuǎn)換成d的變化。

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